 | • レポートコード：MRC-CR07824 • 発行年月：2025年05月 • レポート形態：英文PDF • 納品方法：Eメール（納期：2～3日） • 産業分類：化学＆材料 |
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レポート概要
EUVペリクルは、極端紫外線（EUV）リソグラフィ技術において非常に重要な役割を果たす光学部品です。リソグラフィは半導体製造プロセスにおいて、回路パターンをウェハ上に転写するための技術であり、EUVリソグラフィは、より小型化されたトランジスタや回路を製造するために必要な高解像度を実現します。EUVペリクルは、リソグラフィプロセス中に光学系やマスクを保護するための薄い膜であり、主に光学システムの外部からの汚染や傷から守る役割を果たしています。
EUVペリクルの特徴としては、非常に薄いことが挙げられます。一般的には数十ナノメートルの厚さであり、この薄さが光の透過性を確保しつつ、外部環境の影響を抑えることを可能にします。また、EUV光は波長が非常に短いため、通常の材料では透過しませんが、EUVペリクルは特別な素材で構成されており、この波長に適した光学特性を持っています。これにより、ペリクルは高い透過率を維持しながら、マスク上のパターンを保護します。
EUVペリクルにはいくつかの種類があります。主なものとしては、透明な膜を持つスタンダードペリクルや、特定の波長に対して選択的な透過特性を持つフィルターペリクルなどがあります。さらに、ペリクルの表面処理やコーティング技術によって、汚れの付着を防ぎ、清掃の頻度を減らすための工夫も行われています。
EUVペリクルの用途は主に半導体製造におけるマスク保護ですが、これに加えて、次世代のリソグラフィ技術や高精度な光学測定機器においても利用される可能性があります。特に、EUVリソグラフィは、今後の微細化技術において欠かせない要素となるため、ペリクルの技術革新も重要な課題となっています。
関連技術としては、EUV光源技術やマスク製造技術、さらにペリクルの製造における材料科学やナノテクノロジーがあります。EUV光源は高いエネルギーを持つ光を生成するために、特別なレーザー技術やプラズマ技術が用いられます。これにより、必要なEUV波長を生成し、ペリクルを通じて効率的にマスクに照射することが可能です。
EUVペリクルは、今後の半導体産業においてますます重要な役割を果たすことが予想されます。微細化が進む中で、ペリクルの性能向上や新しい材料の開発が求められており、これによりより高精度で効率的な半導体製造が実現されるでしょう。したがって、EUVペリクル技術の進展は、半導体業界全体の競争力を左右する重要な要素となっています。
| EUVペリクルの世界市場レポート（Global EUV Pellicle Market）では、セグメント別市場規模、主要地域と国別市場規模、国内外の主要プレーヤーの動向と市場シェア、販売チャネルなどの項目について詳細な分析を行いました。
最新の調査によると、EUVペリクルの世界市場規模は、2024年のxxx百万ドルから2025年にはxxx百万ドルとなり、2024年から2025年の間にxx％の変化があると推定されています。EUVペリクルの世界市場規模は、今後5年間でxx％の年率で成長すると予測されています。 地域・国別分析では、北米、アメリカ、カナダ、メキシコ、ヨーロッパ、ドイツ、イギリス、フランス、ロシア、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどを対象にして、EUVペリクルの市場規模を算出しました。 EUVペリクル市場は、種類別には、≥90%以上透過率、85%~90%透過率、80%~85%透過率、≤80%透過率に、用途別には、半導体、プリント配線板、液晶パネル、その他に区分してグローバルと主要地域における2020年～2030年の市場規模を調査・予測しました。 当レポートに含まれる主要企業は、Mitsui Chemicals、Asahi Kasei、Shin-Etsu、…などがあり、各企業のEUVペリクル販売量、売上、価格、市場シェアなどを分析しました。 グローバルにおけるEUVペリクル市場で新ビジネス創出や売上拡大に挑むクライアント様が、成長トレンドを取り込み、課題を解決する際に必ず役立つ一冊となっておりますので是非ご活用ください。 【目次】 EUVペリクル市場の概要（Global EUV Pellicle Market） 主要企業の動向 EUVペリクルの世界市場（2020年～2030年） EUVペリクルの地域別市場分析 EUVペリクルの北米市場（2020年～2030年） EUVペリクルのヨーロッパ市場（2020年～2030年） EUVペリクルのアジア市場（2020年～2030年） EUVペリクルの南米市場（2020年～2030年） EUVペリクルの中東・アフリカ市場（2020年～2030年） EUVペリクルの販売チャネル分析 調査の結論 |
※弊社ではEUVペリクルの中国市場レポートも取り扱っています。
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【中国のEUVペリクル市場レポート（資料コード：MRC-CR07824-CN）】
本調査資料は中国のEUVペリクル市場について調査・分析し、市場概要、市場動向、市場規模、市場予測、市場シェア、企業情報などを掲載しています。中国における種類別（≥90%以上透過率、85%~90%透過率、80%~85%透過率、≤80%透過率）市場規模と用途別（半導体、プリント配線板、液晶パネル、その他）市場規模データも含まれています。EUVペリクルの中国市場レポートは2025年英語版で、一部カスタマイズも可能です。 ・中国のEUVペリクル市場概要 |