 | • レポートコード：MRC-CR20083 • 発行年月：2025年05月 • レポート形態：英文PDF • 納品方法：Eメール（納期：2～3日） • 産業分類：電子＆半導体 |
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レポート概要
リソグラフィ用光源は、半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たす機器です。リソグラフィは、光を用いて感光性の材料にパターンを転写する技術であり、集積回路やマイクロエレクトロニクスの製造に欠かせません。光源は、このプロセスにおいて、必要な波長の光を生成し、フォトレジストと呼ばれる感光材料を露光します。
リソグラフィ用光源の特徴としては、まず高いエネルギー密度が挙げられます。これにより、短時間で高精度なパターンを形成することが可能です。また、波長が短い光を使用することで、より微細なパターンが実現できます。一般的に、紫外線（UV）や極紫外線（EUV）が多く用いられています。特にEUVリソグラフィは、次世代の半導体製造において重要視されており、7nmや5nmプロセスノードの製造に対応しています。
リソグラフィ用光源の種類には、主にガスレーザー、固体レーザー、そしてプラズマ光源があります。ガスレーザーには、アークランプや水銀ランプなどが含まれ、UV波長域の光を生成します。固体レーザーは、より高出力で安定した光を提供することができ、特に短波長の光を必要とする高精度なリソグラフィに適しています。プラズマ光源は、特にEUVリソグラフィにおいて中心的な役割を果たし、非常に短い波長の光を生成することが可能です。
リソグラフィ用光源の用途は、主に半導体デバイスの製造に集中しています。集積回路のパターン形成やMEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）デバイスの製造、さらには光学素子やバイオセンサーの製造にも利用されます。また、最近では、量子コンピュータや新しい材料の開発においても重要な役割を果たしています。
関連技術としては、フォトレジスト技術やマスク技術、さらには光学系の設計が挙げられます。フォトレジストは、露光された部分が化学的に変化することでパターンを形成する材料であり、これにより高精度なパターンを得ることができます。また、マスク技術は、光を特定のパターンで遮断することで、露光プロセスを制御します。これらの技術は、光源の性能を最大限に引き出すために密接に関連しています。
リソグラフィ用光源は、半導体製造の進化に不可欠な要素であり、今後の技術革新を支える基盤となります。技術の進展により、より微細で高性能なデバイスの実現が期待されており、リソグラフィ用光源の重要性はますます高まっています。
| リソグラフィ用光源の世界市場レポート（Global Light Sources for Lithography Market）では、セグメント別市場規模、主要地域と国別市場規模、国内外の主要プレーヤーの動向と市場シェア、販売チャネルなどの項目について詳細な分析を行いました。
最新の調査によると、リソグラフィ用光源の世界市場規模は、2024年のxxx百万ドルから2025年にはxxx百万ドルとなり、2024年から2025年の間にxx％の変化があると推定されています。リソグラフィ用光源の世界市場規模は、今後5年間でxx％の年率で成長すると予測されています。 地域・国別分析では、北米、アメリカ、カナダ、メキシコ、ヨーロッパ、ドイツ、イギリス、フランス、ロシア、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどを対象にして、リソグラフィ用光源の市場規模を算出しました。 リソグラフィ用光源市場は、種類別には、DUV光源（ArF、KrF、i線）、EUV光源に、用途別には、統合デバイスメーカー(IDM)、ファウンドリー、その他に区分してグローバルと主要地域における2020年～2030年の市場規模を調査・予測しました。 当レポートに含まれる主要企業は、Gigaphoton、Cymer(ASML)、Beijing RSLaser Opto-Electronics Technology、…などがあり、各企業のリソグラフィ用光源販売量、売上、価格、市場シェアなどを分析しました。 グローバルにおけるリソグラフィ用光源市場で新ビジネス創出や売上拡大に挑むクライアント様が、成長トレンドを取り込み、課題を解決する際に必ず役立つ一冊となっておりますので是非ご活用ください。 【目次】 リソグラフィ用光源市場の概要（Global Light Sources for Lithography Market） 主要企業の動向 リソグラフィ用光源の世界市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源の地域別市場分析 リソグラフィ用光源の北米市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源のヨーロッパ市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源のアジア市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源の南米市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源の中東・アフリカ市場（2020年～2030年） リソグラフィ用光源の販売チャネル分析 調査の結論 |
※弊社ではリソグラフィ用光源の中国市場レポートも取り扱っています。
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【中国のリソグラフィ用光源市場レポート（資料コード：MRC-CR20083-CN）】
本調査資料は中国のリソグラフィ用光源市場について調査・分析し、市場概要、市場動向、市場規模、市場予測、市場シェア、企業情報などを掲載しています。中国における種類別（DUV光源（ArF、KrF、i線）、EUV光源）市場規模と用途別（統合デバイスメーカー(IDM)、ファウンドリー、その他）市場規模データも含まれています。リソグラフィ用光源の中国市場レポートは2025年英語版で、一部カスタマイズも可能です。 ・中国のリソグラフィ用光源市場概要 |